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田中 智博 and 加藤 友規 and 大坪 樹 and 小山 敦弘 and 矢澤 孝哲,砥粒加工のための静圧空気軸受のコンプライアンス制御,フルードパワーシステム講演会講演論文集 = The proceedings Conference of Japan Fluid Power System Society,,東京 : 日本フルードパワーシステム学会,2020,,,4-6,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409754017536,