著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
高木 誠 and 松室 昭仁 and 岩田 博之,SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化,愛知工業大学総合技術研究所研究報告,13449672,豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所,2010-09,,12,63-67,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409757364736,