著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
岩田 博之 and 徳田 豊 and 高木 誠,低温水素イオン注入により導入されたシリコン結晶欠陥の特性分析,愛知工業大学総合技術研究所研究報告,13449672,豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所,2003-06,,5,45-49,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409768855296,