著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) Takuya Miyayama and Noriaki Sanada and Mineharu Suzuki,Low Damage Depth Profiling and Removal of damaged Layer of Polymer Materials with Ar Gas Cluster Ion Beam,"兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 = Annual report of Ion Beam Engineering Laboratory, University of Hyogo",,姫路 : 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室,2010,,,220-225,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409833889792,