著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 寒川 雅之 and 安部 隆,積層マイクロカンチレバー構造の作製とそれを用いた小型センサデバイス,"電気学会研究会資料. TER = The papers of Technical Meeting on ""Transportation and Electric Railway"", IEE Japan",,東京 : 電気学会,2015-03-18,2015,1-15,41-44,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009409990001536,