著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
菅野 卓雄,最近の半導体デバイス・材料・プロセス技術,応用物理,03698009,東京 : 応用物理学会,1984-01,53,1,p2-16,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410257170560,