著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伊〓崎 泰宏 and 神間 博和,rfマグネトロンスパッタリングによる酸化亜鉛薄膜の成膜速度,静岡大学電子工学研究所研究報告,02863383,浜松 : 静岡大学電子工学研究所,1995,29,2,p135-142,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410295382272,