著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
宮下 直人 and 小寺 雅子 and 松井 嘉孝,ポリシリコンCMPプロセスにおけるディッシングレススラリーの開発,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2000-02,44,2,85-88,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410297069568,