著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,最先端半導体製造システム<特集>,電気学会雑誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan,00202878,東京 : 電気学会,1992-01,112,1,p1-28,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410299163904,