著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
須崎 嘉文 and 鹿間 共一 and 田中 治,イオンビームスパッタリング法によるITO薄膜の低温成膜におけるイオンビーム照射効果,"電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2",09151907,東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクス ソサイエティ,1998-07,81,7,613-618,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410300318208,