Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) 市川 昌和,原子層のSi酸化膜を用いたナノ構造形成,まてりあ = Materia Japan,13402625,仙台 : 日本金属学会 ; 1994-,1998-11,37,11,931-937,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410335871488,