著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 篠崎 俊昭,マイクロリソグラフィ技術--過去・現在・未来(講座),日本写真学会誌 = Journal of the Society of Photography and Imaging of Japan,03695662,東京 : 日本写真学会,1983-06,46,3,p179-183,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410346448640,