著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,事故は語る：半導体製造工場で９２時間の火災 難燃材だったはずの装置きょう体に延焼か,日経ものづくり,13492772,東京 : 日経BP社,2021-11,,806,72-76,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410373036800,