Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI) ,半導体製造工場で92時間の火災 難燃材だったはずの装置きょう体に延焼か : 事故は語る,日経ものづくり,13492772,東京 : 日経BP社,2021-11,,806,72-76,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410373036800,