著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山本 稔 and 岡本 孝太郎 and 今井 哲二,スパッタによるタングステン膜の特性と4μmグレーティングの製作,電気通信大学学報,04934253,調布 : 電気通信大学,1984-08,35,1,p7-12,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410407583232,