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三谷 英機,金蒸着膜における内部応力の発生から緩和に至る過程,阿南工業高等専門学校研究紀要,0570006X,阿南 : 阿南工業高等専門学校,1984-03,,20,p59-65,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520009410448643968,