著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
佐藤 誠 and 田上 学 and 末永 真寛,SLA-ICPエッチングモジュールの開発,アネルバ技報,13422979,府中 (東京都) : アネルバ,2002,9,,16-20,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010380198756736,