著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
柴田 俊格 and 宮 博信 and 国井 泰夫,HfO2系High-k材料向けのin-situチャンバークリーニング技術の開発,大陽日酸技報,1349693X,東京 : 大陽日酸技術本部技報編集事務局,2007,,26,7-11,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010380374985856,