著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 中村 昌洋,フォトレジスト剥離液とポリマー除去液,ファインケミカル : 調査・資料・報道・抄録,09136150,東京 : シーエムシー出版,2001-07-15,30,12,21-25,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010380478837632,