著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,特集 ULSI洗浄技術・装置,Electronic journal,,東京 : 電子ジャーナル,2009-08,,185,74-76,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010380543247744,