著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 松原 亨,検査機器 MSE試験法による薄膜試験・評価,検査技術,13429825,東京 : 日本工業出版,2014-08,19,8,44-50,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010380609194496,