著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
西山 岩男,最前線 2009 International EUVL Symposium Report 相次ぐEUVのデバイスプロセスの実証 初期量産に向け光源性能が大幅に進展,Electronic journal,,東京 : 電子ジャーナル,2009-11,,188,68-71,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010380844381696,