著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,小特集 環境問題へのスパッタ・プラズマ技術の展開,真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan,05598516,東京 : 日本真空協会,2000-07,43,7,707-723,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010380906336512,