著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
白澤 徹郎 and 水野 清義 and 栃原 浩,新結晶・新物質 SiC上の結晶化SiON超薄膜,固体物理,04544544,東京 : アグネ技術センター,2008-04,43,4,231-237,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010381074438912,