Author,Title,Journal,ISSN,Publisher,Date,Volume,Number,Page,URL,URL(DOI)
浦辺 俊光 and 柳川 秀宏,縦型φ300mm装置Zestone-3(C)の開発,日立国際電気技報,13465953,羽村 : 日立国際電気,2001-03,,1,56-60,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010381167037440,