著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,MEMSに関する技術の現状と課題,技術調査レポート. 技術動向編,,[東京] : 経済産業省産業技術環境局技術調査室,2003-03-28,,3,1-26,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010381203758464,