SOIウェハのハイブリッド接合を用いた3層積層画素並列CMOSイメージセンサ

書誌事項

タイトル別名
  • SOI ウェハ ノ ハイブリッド セツゴウ オ モチイタ 3ソウ セキソウガソ ヘイレツ CMOS イメージセンサ
  • 3-Layer Stacked Pixel-Parallel CMOS Image Sensors Using Hybrid Bonding of SOI Wafers
  • 情報センシング
  • ジョウホウ センシング
公開日
2022-03
公開者
東京 : 映像情報メディア学会

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