著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 柴田 隆行,マイクロニードルアレイ工具を用いた高品位・高能率マイクロ穴加工,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2022-04,66,4,188-191,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520010707349330688,