著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
水谷 正義 and 鷹巣 良史 and 嶋田 慶太 and 厨川 常元,表面改質を利用した単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速・低ダメージ加工,精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering,09120289,東京 : 精密工学会,2023-05,89,5,368-372,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520015045382728448,