著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
真田 俊之 and 濵田 聡美,CMP工程後におけるPVAブラシ洗浄について,Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology,09142703,東京 : 砥粒加工学会,2023-07,67,7,393-396,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520015487545838720,