著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
堀 勝,プラズマ科学の進化による最先端半導体製造技術の革新,応用電子物性分科会誌 = Bulletin of solid state physics and applications,13415123,[東京] : 応用物理学会,2023,29,5,173-178,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520017586037394816,