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単結晶ダイヤモンド成長用鋸波変調誘導熱プラズマに対する原料CH₄ガス間歇供給遅れ時間の影響
Bibliographic Information
- Other Title
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- タンケッショウ ダイヤモンド セイチョウヨウ ノコギリハ ヘンチョウ ユウドウ ネツ プラズマ ニ タイスル ゲンリョウ CH ₄ ガス カンケツキョウキュウ オクレ ジカン ノ エイキョウ
- Effect of Delay Time of Intermittent Injection of CH₄ Gas on Saw-Wave Modulated Induction Thermal Plasma for Single Crystal Diamond Growth
- 放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー
- ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー ケンキュウカイ ・ ホウデン ・ プラズマ ・ パルスパワー
- Published
- 2025-06-11
- Publisher
- 東京 : 電気学会
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- 電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編]
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電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2025 (46-57), 41-46, 2025-06-11
東京 : 電気学会
