著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
美濃浦 優一 and 岡本 直哉 and 多木 俊裕,リセスゲートAlGaN/GaN-HEMT向け低ダメージドライエッチング,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2015-07,115,156,9-13,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882034308864,