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野沢 善幸 and 宮﨑 俊也 and 速水 利泰,ICPプラズマ源を用いたシリコン深掘りエッチング装置,プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research,09187928,名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会,2020-10,96,10,543-546,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882054396416,