著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
廣野 滋 and 天沢 敬生,電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成,日本応用磁気学会誌,02850192,東京 : 日本磁気学会,2002,26,6,823-828,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882147228416,