著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 西川 直 and 山形 光,半導体物性評価における実習プロセスの改善,技報,,東京 : 早稲田大学理工学術院統合事務・技術センター技術部,2020,,48,19-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882209686272,