著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
堀内 敏行 and 小嶋 樹 and 山崎 彰,パタン分割2波長露光による高密度微細パタン形成の基礎検討,東京電機大学工学部研究報告,0389617X,東京 : 東京電機大学工学部,2001-12,,49,37-45,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882234443648,