著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
柴山 昭則 and 吉原 秀雄,解説 X線リソグラフィ技術の微細加工部品への応用,塑性と加工 = Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity : 日本塑性加工学会論文誌,00381586,東京 : 日本塑性加工学会 ; 1960-,2003-06,44,509,584-588,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882251392000,