著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,超LSI製造プロセス,化学工学 = Chemical engineering of Japan,03759253,東京 : 化学工学会,1987-05,51,5,p348-374,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882317022720,