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部家 彰 and 松尾 直人 and 芹川 正,水素変調ドープa-Si膜のエキシマレーザアニーリング,日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials,00214876,仙台 : 日本金属学会 ; 1937-,2007-08,71,8,661-665,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882374918016,