著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
桑野 三郎,反応性イオンプレーティング法による窒化アルミニウム皮膜形成に及ぼす窒素ガス圧およびイオン化電流の影響,金属表面技術,00260614,東京 : 金属表面技術協会,1987-06,38,6,p228-233,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882436889088,