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細井 卓治 and 秀島 伊織 and 箕浦 佑也,Metal/High-k/Geゲートスタックにおけるジャーマナイド形成とその電気特性への影響,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2013-06-18,113,87,19-23,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882498105856,