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渡部 善幸 and 矢作 徹 and 阿部 泰 and 村山 裕紀,電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2017,34,,1-5,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882535622656,