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佐々木 善伸 and 森本 博明 and 小丸 真喜雄,集束イオンビームリソグラフィを用いたGaAs FETプロセスの検討,"電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers",09135723,東京 : 電子情報通信学会,1987-05,70,5,p603-610,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882644914688,