著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
,CVDプロセス技術と反応装置,化学工学 = Chemical engineering of Japan,03759253,東京 : 化学工学会,1996-12,60,12,868-874,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882731442176,