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矢作 徹 and 村山 裕紀 and 阿部 泰 and 村上 穣 and 岩松 新之輔 and 加藤 睦人 and 渡部 善幸 and 峯田 貴,MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2018,35,,4p,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882829791744,