著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
居村 史人 and 仲川 博 and 菊地 克弥,ガスデポジション法による円錐バンプの作製--MEMSデバイスの低温・低荷重ストレスフリー実装を目指して,マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集,,東京 : エレクトロニクス実装学会,2008-09,18,,191-194,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882865447680,