著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
田村 宣通 and 安藤 妙子,不純物濃度によるエッチング速度の違いを利用したシリコン3次元構造体の作製,「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編],,[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan,2017,34,,1-3,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882933325312,