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渋谷 眞人,微細な波面収差の影響--半導体露光装置用投影レンズにおけるローカルフレア,光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan,03896625,東京 : 日本光学会,2005-03,34,3,124-131,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290882959591296,