著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
松田 彰久,プラズマからの膜成長基礎過程--アモルファスシリコンとシリコン系合金,理化学研究所報告,00203084,和光 : 理化学研究所,1987-06,63,2,p41-43,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883127648768,