著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
茂森 直登 and 佐藤 創志 and 角嶋 邦之,SiナノワイヤへのNiシリサイド形成と過剰な侵入とその抑制に関する検討,電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報,09135685,東京 : 電子情報通信学会,2010-06-22,110,90,17-22,https://cir.nii.ac.jp/crid/1520290883159491840,